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Altera S 15.10.8
    發布時間: 2020-04-01 10:58    
技術規格
主要規格參數 ALTERA S 15.10.8
有效測量范圍 X軸（沿工作臺移動方向） 1500mm
Y軸（沿橫梁移動方向） 1000mm
Z軸 800mm
測量精度mm 最大允許示值誤差MPEE 1.8+L/400 μm
（18-22℃）
最大允許探測誤差MPEP 1.6 μm
寬溫度范圍測量精度 最大允許示值誤差MPEE 1.8+L/300μm
（16-26℃）
最大三維速度 762 mm/s
最大三維加速度 2290 mm/s2
環境溫度要求 最大使用溫度范圍 10－30℃
保證精度使用范圍 18－22℃
溫度梯度（時間） 1℃/h      2℃/24h
溫度梯度（空間） 1℃/m
氣源要求 供氣壓力 不小于6.3 Bar (90psi)
（必須經過精過濾）
氣體流量 不小于140~200NL/min
環境濕度要求 20%－80%無冷凝

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